0+Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Где читать или купить
Описание
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
О книге
| Издательство | Инфра-Инженерия |
|---|---|
| Год издания | 2019 |
| Язык | ru |
| Форматы | |
| Возрастное ограничение | 0 |
| ISBN | 978-5-9729-2209-3 |
Похожие книги
12+
0+
12+
12+
0+
12+