Описание

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

О книге

ИздательствоИнфра-Инженерия
Год издания2019
Языкru
ФорматыPDF
Возрастное ограничение0
ISBN978-5-9729-2209-3

Частые вопросы

О чём книга «Технологические процессы в микро- и наноэлектронике»?
«Технологические процессы в микро- и наноэлектронике» — это учебники и пособия для вузов. Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные…
Где читать или купить «Технологические процессы в микро- и наноэлектронике»?
Книгу можно читать или купить у партнёра ЛитРес (эл. книга). Цена у партнёра — 1350 ₽. Переход — по кнопке в блоке «Где читать или купить».
Что почитать похожее на «Технологические процессы в микро- и наноэлектронике»?
Близкие по теме книги: «Учебная книга по Русской истории», «Лекарственная устойчивость ВИЧ», «Формирование коммуникативно-речевых способностей у детей с функциональными нарушениями зрения». Полный список — в блоке «Похожие книги».