Справочник по вакуумной электронике. Компоненты и устройства

Книга написана коллективом авторов на основе междисциплинарного курса «Интеллектуальные сенсорные системы», организованного Дельфтским техническим университетом в 1995 г. Цель курса – представление базовых принципов современных сенсорных систем для широкого круга специалистов в различных областях знаний, разработка общего языка и научных основ для обсуждения проблем и развития взаимного сотрудничества. Издание представляет последние достижения в области систем интеллектуальных сенсоров. Книга станет незаменимым справочным пособием для студентов, аспирантов и профессоров в области электро-, механико-, химико-инженерии и физики. Инженеры и исследователи микроэлектронной промышленности, включая разработчиков микросистем, также найдут эту книгу весьма полезной.