0+Формирование функциональных слоев
Где читать или купить
ЛитРес
Реклама
180 ₽
эл. книга
Читать у партнёра
«Формирование функциональных слоев» у партнёра ЛитРес — реклама, внешняя ссылка
Описание
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
О книге
| Издательство | МГТУ им. Н.Э. Баумана |
|---|---|
| Год издания | 2023 |
| Язык | ru |
| Форматы | |
| Возрастное ограничение | 0 |
| ISBN | 978-5-7038-5350-4 |
Похожие книги
12+Учебная книга по Русской истории
0+Лекарственная устойчивость ВИЧ
12+Формирование коммуникативно-речевых способностей у детей с функциональными нарушениями зрения
12+Выразительное чтение в вузе и школе
0+Руководство к практическим занятиям по зоологии беспозвоночных
12+Управление дошкольной образовательной организацией
Частые вопросы
О чём книга «Формирование функциональных слоев»?
«Формирование функциональных слоев» — это учебники и пособия для вузов. Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких…
Где читать или купить «Формирование функциональных слоев»?
Книгу можно читать или купить у партнёра ЛитРес (эл. книга). Цена у партнёра — 180 ₽. Переход — по кнопке в блоке «Где читать или купить».
Что почитать похожее на «Формирование функциональных слоев»?
Близкие по теме книги: «Учебная книга по Русской истории», «Лекарственная устойчивость ВИЧ», «Формирование коммуникативно-речевых способностей у детей с функциональными нарушениями зрения». Полный список — в блоке «Похожие книги».