Алмазы в микроэлектронике: от исследований к разработкам

В монографии автором изложены оригинальные методология и методы исследований алмазов, в частности для исследований использовались современные методы и оборудование, в т. ч. системы электрофизического контроля полупроводниковых структур, контактные и бесконтактные системы профилометрии, установки спектрофотометрического анализа в ИК, видимом и УФ диапазонах; методы и оборудование люминесцентного и поляризационного контроля, электронная микроскопия, методы спектральной и топографической катодолюминесценции, методы электронно-ионного элементного и структурного анализа, рентгено-структурные и рентгено-спектральные методы. Описана последовательность операций при изготовлении приборов на алмазах. Прежде всего для изготовления образцов устройств и их элементов использовались методы и оборудование вакуумного нанесения проводящих, полупроводниковых и вспомогательных слоев, включая магнетронное, электронно-лучевое, молекулярно-лучевое осаждение, CVD- и HPHT-технологии синтеза алмаза, технология ионной имплантации, лазерные, ионно-плазменные и ионно-лучевые технологии обработки и травления. Обзор представляет интерес для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, аспирантов и магистров, студентов и бакалавров, специализирующихся в области радиоэлектроники и микросистемной техники.