В. Ю. Васильев
Книги автора
0+Современное производство изделий микроэлектроники
0+Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
0+Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
0+Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
16+Технологии формирования изолирующих областей интегральных микросхем с использованием тонких диэлектрических пленок